跳到主要內容區塊
奈米機電系統研究中心
Laser lithography DWL 2000 (雷射繪圖機)-卓越大樓
mobile botton
search
搜尋
搜尋
進階搜尋
關於我們
中心簡介
工作職掌
聯絡我們
單位位置-應力所
單位位置-卓越大樓
最新消息
中心公告
無塵室儀器設備
應力所無塵室儀器
卓越無塵室儀器
無塵室使用註冊及課程
註冊須知
課程規劃說明及請假事項
無塵室使用須知
環安衛證書上傳
線上申請開卡
收費標準
繳費項目說明
應用力學所無塵室
卓越大樓無塵室
無塵室空間使用無限制方案(實驗做飽飽方案)
委託操作服務登記
一般代工服務
DWL 2000 雷射光罩製作系統-OEM代工服務
中心相關法規
奈米機電系統研究中心設置辦法
論文競賽辦法審查施行辦法
人事評審委員會設置辦法
卓越大樓無塵室置物櫃使用辦法
卓越大樓1樓門禁卡申請辦法
中心檔案下載
應力所無塵室-課程講義
卓越大樓無塵室-課程講義
其他檔案下載
防疫專區-訪客證申請
軟體下載
應力表面分析儀iSTAR31
卓越雷射共軛焦VKAnalyzer
光罩繪製原則
奈米科技學程
中心帳號申請/登入
(特定網域內)
開放網域資訊
教授/單位帳號申請/登入
學生/工程師帳號申請/登入
論文競賽專區
科普營隊專區
線上課程及影片連結
上方連結
回首頁
臺大首頁
網站導覽
聯絡我們
English
關於我們
中心簡介
工作職掌
聯絡我們
單位位置-應力所
單位位置-卓越大樓
最新消息
中心公告
無塵室儀器設備
應力所無塵室儀器
卓越無塵室儀器
無塵室使用註冊及課程
註冊須知
課程規劃說明及請假事項
無塵室使用須知
環安衛證書上傳
線上申請開卡
收費標準
繳費項目說明
應用力學所無塵室
卓越大樓無塵室
無塵室空間使用無限制方案(實驗做飽飽方案)
委託操作服務登記
一般代工服務
DWL 2000 雷射光罩製作系統-OEM代工服務
中心相關法規
奈米機電系統研究中心設置辦法
論文競賽辦法審查施行辦法
人事評審委員會設置辦法
卓越大樓無塵室置物櫃使用辦法
卓越大樓1樓門禁卡申請辦法
中心檔案下載
應力所無塵室-課程講義
卓越大樓無塵室-課程講義
其他檔案下載
防疫專區-訪客證申請
軟體下載
光罩繪製原則
奈米科技學程
中心帳號申請/登入
(特定網域內)
開放網域資訊
教授/單位帳號申請/登入
學生/工程師帳號申請/登入
論文競賽專區
科普營隊專區
線上課程及影片連結
下方連結
上方連結
回首頁
臺大首頁
網站導覽
聯絡我們
English
search
搜尋
搜尋
進階搜尋
back to top
奈米機電系統研究中心(半導體製程重點技術平台)
關於我們
中心簡介
工作職掌
聯絡我們
單位位置-應力所
單位位置-卓越大樓
最新消息
中心公告
無塵室儀器設備
應力所無塵室儀器
卓越無塵室儀器
無塵室使用註冊及課程
註冊須知
課程規劃說明及請假事項
無塵室使用須知
環安衛證書上傳
線上申請開卡
收費標準
繳費項目說明
應用力學所無塵室
卓越大樓無塵室
無塵室空間使用無限制方案(實驗做飽飽方案)
委託操作服務登記
一般代工服務
DWL 2000 雷射光罩製作系統-OEM代工服務
中心相關法規
奈米機電系統研究中心設置辦法
論文競賽辦法審查施行辦法
人事評審委員會設置辦法
卓越大樓無塵室置物櫃使用辦法
卓越大樓1樓門禁卡申請辦法
中心檔案下載
應力所無塵室-課程講義
卓越大樓無塵室-課程講義
其他檔案下載
防疫專區-訪客證申請
軟體下載
光罩繪製原則
奈米科技學程
中心帳號申請/登入
(特定網域內)
開放網域資訊
教授/單位帳號申請/登入
學生/工程師帳號申請/登入
論文競賽專區
科普營隊專區
線上課程及影片連結
:::
首頁
儀器設備資料頁面
微影製程
Laser lithography DWL 2000 (雷射繪圖機)-卓越大樓
Laser lithography DWL 2000 (雷射繪圖機)-卓越大樓
網頁功能
列印內容
Bopomofo
分享
Facebook
Plurk
Twitter
line
Email
LinkedIn
Laser lithography DWL2000 雷射繪圖機 -卓越大樓
儀器名稱
雷射繪圖機
Heidelberg / DWL 2000
用途
利用強度可變的雷射束對基片表面的光阻曝光，顯影後在光阻層形成所要的設計圖形。
儀器規格
最大放置基板：9" × 9"
直寫最大區域：20 × 20 cm²
基板厚度：0–7 μm
直寫最小線寬：0.8 μm
最高直寫速度：1.1 cm²/min
位移解析度：10 nm
可執行灰階直寫。
注意事項
只開放代工。
如需製作直寫或灰階，須先進行測試製程，詳細測試內容請洽中心人員。
只開放正光阻之直寫。