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儀器名稱
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光阻旋轉塗佈機 (多段式、兩段式)
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用途
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旋轉塗佈為利用轉盤高速旋轉離心力，將基材上的塗料進行厚度均勻化的製程，主要係將光阻劑塗佈在基材上。
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儀器規格
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- 外觀材質：PP 板組合焊接而成，可以耐酸鹼侵蝕
- 操作盆罩：SUS制，圓盆型設計
- 控制台：按鍵旋鈕式
- 吸盤規格：一組鋁制吸盤精密研模陽極保護
- 操作方式：手動直接輸入
- 入料方式：手動給料
- 液體種類：光阻劑、溶劑
- 馬達：AC Servo Motor (轉速：10 ~ 5000 RPM)含真空幫浦(附 PP 防塵外罩)
- 真空表頭：二組視窗，可顯示設定值與實際值
- 配方模組：100組配方設定
- 段方步序：每一配方模組均設30段步序
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注意事項
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- 只有已通過訓練及檢定之使用者允許操作本儀器。
- 因光阻為有機溶劑,操作請戴上耐酸鹼手套。
- 1.1 尺寸限制。
- 二段 spin coater：破片。
- 多段 spin coater：破片,2吋~8 吋晶圓。
- 如破片小於 1.5cm*1.5cm 請自備 blue tape 以防止光阻流入幫浦。
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使用說明書
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儀器課程名稱
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- (卓越)Spin Coater-限112年4月以前已有曝光機權限者
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