奈米機電系統研究中心

儀器名稱

探針式表面分析儀
Kosaka / ET4000A

用途

量測物體二維表面輪廓及粗糙度。

儀器規格

• 最大試片尺寸：210mm x 210mm
• 量測範圍：Z (100 µm), X (100~305 mm), Y (150~400 mm)
• 解析度：Z: 0.1 nm, X: 0.1 µm

注意事項

1. 只有已通過檢定之使用者允許操作本儀器。
2. 可觀看教學影片後，直接報名檢定課程。
3. 禁止量測軟質物體。
4. 待測物表面高低差需在 100 µm 以下。
5. 量測結束後，請將 X 軸及 Y 軸歸回零點 (0 mm 位置)，Z 軸 (探針) 歸回 52 mm 位置。

使用說明書

• 手冊_Stylus Profiler
• 影片_Stylus Profiler

儀器課程名稱

• [IAM] Stylus Profiler